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MKS Instruments,Inc.是儀器、系統(tǒng)、子系統(tǒng)和過程控制解決方案的全球供應(yīng)商，這些解決方案測量、監(jiān)控、交付、分析、供電和控制先進制造過程的關(guān)鍵參數(shù)，以提高客戶的過程性能和生產(chǎn)力。他們的產(chǎn)品源自他們在壓力測量和控制、流量測量和控制、氣體和蒸汽輸送、氣體成分分析、電子控制技術(shù)、反應(yīng)氣體發(fā)生和輸送、發(fā)電和輸送、真空技術(shù)、激光、光子學(xué)、光學(xué)、精密運動控制、振動控制和基于激光的制造系統(tǒng)解決方案。下面將是我們?yōu)槟榻B的美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列（MKS質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹），文章概述了該產(chǎn)品的特性及規(guī)格，如果您想要了解，您可以繼續(xù)往下閱讀！
1、MKS質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹
C系列質(zhì)量流量控制器(MFC)是緊湊型快速響應(yīng)型號，使用基于微機電系統(tǒng)(MEMS)的流量傳感器，適用于非腐蝕性氣體應(yīng)用。它的滿量程流量范圍為15至14,000 sccm(N2)，控制范圍從低至滿量程的0.1%到高達滿量程的100%。提供模擬（0至5 VDC）、RS485、PROFINET®和Modbus通信接口。該器件的全量程流量范圍為14000 sccm至50000 sccm，N2的控制范圍為低至全量程的0.1%至全量程的100%，也可用作流量計。
2、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列特性
CMA50A緊湊型設(shè)計僅1英寸（25.4毫米），高度不到4.4英寸（111.8毫米）。4 VCR®公頭的標準長度為4.88英寸（124毫米），0.25英寸壓縮密封氣體管線連接的標準長度為4.54英寸（113毫米）。還提供下載版本。低熱質(zhì)量MEMS傳感器可快速感測流量變化并具有低噪聲輸出。傳感器的固態(tài)設(shè)計使其能夠抵抗水凝結(jié)、顆粒、壓力沖擊和振動?？焖夙憫?yīng)、寬動態(tài)控制范圍和0.8%的設(shè)定點精度使該MFC成為使用非腐蝕性氣體的關(guān)鍵過程應(yīng)用中流量控制的絕佳選擇。典型用途包括質(zhì)譜、真空鍍膜、生物反應(yīng)器以及許多其他應(yīng)用。CMA50A包含一個快速作用電磁控制閥，通過MFC卓越的流量信號處理和控制算法與流量傳感器耦合。這使得設(shè)定點的響應(yīng)時間小于100毫秒。
3、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列特點
①小于100毫秒的超快響應(yīng)時間
②控制范圍為滿量程的0.1至100%
③設(shè)定點的精度為±0.8%
④最小的零位和量程漂移確保長期再現(xiàn)性
⑤表面貼裝接口可用于緊湊型氣體面板設(shè)計
⑥用于設(shè)置和診斷的嵌入式網(wǎng)絡(luò)瀏覽器
4、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列規(guī)格
①滿量程流量范圍：14,001-50,000 sccm(N2)
②最大入口壓力：80磅/平方英寸
③正常工作壓差：14001至50000 sccm：30至45 psid(N2)
④耐壓：232磅/平方英寸/16巴
⑤爆破壓力：1000磅/平方英寸/70巴
⑥控制范圍數(shù)字：I/O：滿量程的0.1%至100%；模擬I/O：滿量程的0.2%至100%
⑦重復(fù)性：讀數(shù)的±0.2%
⑧零溫度系數(shù)：≤滿量程的0.005%/°C
⑨跨度溫度系數(shù)：≤讀數(shù)的0.06%/°C
⑩壓力系數(shù)：小于讀數(shù)的0.025%/psi
5、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列其他信息參數(shù)
①工作溫度：10-50°C(32-122°F)
②儲存溫度：0-60°C(32-140°F)
③配件類型兼容：Swagelok®4 VCR®外螺紋；表面安裝（O形圈和W形密封件）；0.25英寸Swagelok壓縮
④通過關(guān)閉的閥門泄漏完整性：小于最大值的0.1%使用閥門關(guān)閉超控命令的滿量程（為了確保無流量，需要一個單獨的強制截止閥）
⑤接液材料：鋁、不銹鋼、硅、氧化硅、碳化硅、Viton®、球形頂部
⑥密封材料：氟橡膠
⑦閥門位置：常閉
⑧設(shè)定點命令信號：0-5 VDC（0-10 VDC，可選）
⑨電源要求：24 VDC(±10%)，<4瓦
⑩流量輸入輸出信號：0-5 VDC（0-10 VDC，可選）
?模擬I/O連接器：9針D型
?重量：0.68磅（310克）（錄像機）
?儲存溫度：-20°至65°C（-4°至149°F）
6、美國MKS質(zhì)量流量控制器C系列RS485通信選項
①所需輸入功率：24 VDC(±10%)，小于4瓦
②連接器：9針D型公頭（電源和通訊）
③數(shù)據(jù)速率開關(guān)/選擇：無開關(guān)
④通過RS485設(shè)置數(shù)據(jù)速率MFC：無開關(guān)
⑤MFM：不適用
⑥通訊。費率9.6 Kbps，19.2 Kbps，38.4 Kbps
⑦MFM：不適用不適用
⑧MAC ID開關(guān)/地址：通過RS485設(shè)置地址站地址0,0至9,9
⑨網(wǎng)絡(luò)規(guī)模：最多32個節(jié)點
⑩視覺指示器：LED電源LED運行（綠色）
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